特許
J-GLOBAL ID:200903079302049476

半導体検出器のX線スペクトルのピーク強度計算方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 倉内 義朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-123569
公開番号(公開出願番号):特開平11-316199
出願日: 1998年05月06日
公開日(公表日): 1999年11月16日
要約:
【要約】【課題】半導体検出器で測定されたX線スペクトルのピーク強度を、余分な時間をかけることなく正確に求める。【解決手段】X線スペクトルSPの低エネルギ側の裾野に現れるテール成分が存在する領域に対して繰り返し平滑化を行ってテール曲線Taを求め、この曲線Taをテール領域でのバックグラウンドとし、そのテール曲線Taを含んだバックグラウンドBGをX線スペクトルSPから差し引くことによってピークのみのスペクトルを求め、そのピークのみのフィッティングによりピーク強度を求める。
請求項(抜粋):
半導体検出器で測定したX線スペクトルのピーク強度を計算する方法であってあって、X線スペクトルの低エネルギ側の裾野に現れるテール成分が存在する領域に対して繰り返し平滑化を行ってテール曲線を求め、この曲線をテール領域でのバックグラウンドとし、そのテール曲線を含んだバックグラウンドをX線スペクトルから差し引くことによってピークのみのスペクトルを求め、そのピークのみのフィッティングによりピーク強度を求めることを特徴とする、半導体検出器のX線スペクトルのピーク強度計算方法。
IPC (2件):
G01N 23/223 ,  G01N 23/225
FI (2件):
G01N 23/223 ,  G01N 23/225
引用文献:
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