特許

J-GLOBAL ID：200903079310436969

焦点検出装置

発明者： 桑田 知由己
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170638
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004905
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 焦点検出装置において、熱ショックなどによる不可逆的な誤差発生を適時に校正可能にし、焦点検出の精度を長期間にわたって高水準に維持する。【解決手段】 通常の焦点検出系の他に、前記対物レンズの透過光束の少なくとも一部を再結像する校正用光学系と、前記校正用光学系を介して再結像された光像を光電変換する校正用光電変換素子列と、前記校正用光電変換素子列の光電変換信号を校正の基準にして、前記焦点検出部による焦点調節状態を検証し、前記焦点検出部の校正データを作成する試験部と、前記試験部において作成された校正データに基づいて、前記焦点検出部で算出される焦点調節状態を補正して出力する校正部とを備えて、焦点検出装置の校正を行う。さらに、この校正用光学系をガラス製もしくは単眼構成とすることにより、校正精度を高める。

請求項（抜粋）：

対物レンズの透過光束を瞳分割して複数の分割光束を形成し、前記分割光束を結像して一組の分割像を形成する焦点検出光学系と、前記一組の分割像を光電変換する光電変換素子列と、前記光電変換素子列の光電変換信号から前記一組の分割像の位相差を検出し、該位相差に基づいて前記対物レンズの焦点調節状態を求める焦点検出部と、前記対物レンズの透過光束の少なくとも一部を再結像する校正用光学系と、前記校正用光学系を介して再結像された光像を光電変換する校正用光電変換素子列と、前記校正用光電変換素子列の光電変換信号を校正の基準にして、前記焦点検出部による焦点調節状態を検証し、前記焦点検出部の校正データを作成する試験部と、前記試験部において作成された校正データに基づいて、前記焦点検出部で算出される焦点調節状態を補正して出力する校正部とを備えたことを特徴とする焦点検出装置。

IPC (3件)：

G02B 7/28 ,  G02B 7/34 ,  G03B 13/36

FI (3件)：

G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 C ,  G03B 3/00 A

Fターム (8件)：

2H011AA01 ,  2H011BA21 ,  2H011BA33 ,  2H051AA01 ,  2H051BA02 ,  2H051CB07 ,  2H051CB22 ,  2H051CD21