特許
J-GLOBAL ID：200903079315178844
クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287568
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111805
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 横蓋を真空吸着するための真空排気用吸排気口をボックス本体に設け、該吸排気口を付加蓋で閉じるボックス構造として、横蓋の密着性を向上させ、クリーン気体で被搬送物を封止して移送、保管を可能とし、前記付加蓋の落下防止をコンパクトな機構で実現し、取り扱いを容易とする。【解決手段】 開口を囲む吸着用環状溝を一側面に形成し他の面に吸着用環状溝に連通した吸排気口34を有するボックス本体31と、これへの装着状態で吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、吸着用空間内外の圧力差によりボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋36と、付加蓋に設けられた係合部45と、付加蓋を閉成方向に付勢するばね49とを備えたクリーンボックスを用いる搬送方法である。
請求項（抜粋）：
一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋に設けられた係合部と、前記付加蓋を閉成方向に付勢する付勢手段とを備え、排気手段及び移送手段を持たないことを特徴とするクリーンボックス。
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 T
