特許
J-GLOBAL ID：200903079319583433
薄型基板の搬送ロボット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-243028
公開番号（公開出願番号）：特開平11-077566
出願日： 1997年09月08日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】 特に、垂直方向に配置された大型化された基板を、水平方向あるいは垂直方向に収納できるように搬送する薄型基板の搬送ロボットを提供すること。【解決手段】 搬送ロボット1は機台3に回動可能なアーム体7とアーム体7の先端部に配置され基板を吸着するハンド10とを有している。ハンド10とアーム体7の第2アーム9とは、ハンド10が3軸方向に回動できる継手部14によって連結されている。継手部14は、壁部15aと軸部とを有する継手本体部15と、壁部15aに支持されるシャフトと該シャフトに回動可能に支持される支持部材19とを有し、支持部材19にハンド10の継手連結部12が軸部を介して軸心の回りを回動可能に配設されている。そして、ハンド10は駆動モータ13によって、第2アーム9に対して水平方向に回動し、モータ21によってハンド軸心を中心に回動し、モータ23によって、第2アーム9に対して垂直方向に回動する。
請求項（抜粋）：
現位置に配置された薄型基板を次工程位置に搬送するための薄型基板搬送ロボットであって、水平方向または垂直方向に配置された前記薄型基板を、方向転換して水平方向または垂直方向に収納可能に搬送することを特徴とする薄型基板の搬送ロボット。
IPC (3件)：
B25J 9/06
, B65G 49/07
, H01L 21/68
B25J 9/06 D
, B65G 49/07 D
, H01L 21/68 A
