特許
J-GLOBAL ID：200903079320692084
液面制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-099329
公開番号（公開出願番号）：特開平6-092784
出願日： 1991年04月30日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 チョクラルスキー法による単結晶の引き上げにおいて、溶融液面の位置を厳密に制御する。【構成】 融液6の液面にレーザ発光装置13によりレーザ光を入射させ、溶融液面からの反射光を受光センサ16により検知することによって融液6の液面位置を測定し、液面位置が設定値と等しい時はルツボ2をルツボ制御装置19により所定速度で上昇させ、液面位置が設定値より高い時は、前記所定速度から一定比率を減算したものをルツボ2の上昇速度とし、液面位置が設定値より低い時は、前記所定速度に一定比率を加算したものをルツボ2の上昇速度として液面の位置を制御する。【効果】 液面位置が設定値から外れても、直ちに設定値に戻すことができるので、液面位置を正確に制御できる。このため、軸方向の特性が安定した単結晶を製造できる。
請求項（抜粋）：
ルツボ内に収納された単結晶原料の溶融液から単結晶を引き上げ成長させる際に溶融液面の位置を制御する方法において、溶融液の液面に信号を入射させ、その溶融液面からの反射信号を検知することによって溶融液面の位置を測定し、設定値からの変位に応じてルツボを上昇させることを特徴とする液面制御方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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