光触針による光学測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉井昭栄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-171117
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019524
出願日： 1996年07月01日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】従来装置に比べ広範囲な測定要求に対応で、1ケの光軸を基準として全の構成要素が構成できる単純な装置であり、測定装置の製作精度保持も容易であり精度良く測定できる光学式測定装置を提供すること。【解決手段】投影光学系と観察光学系とを被測定物を介して反対の位置でかつ同一の光軸上に設け、被測定物の光軸に一致した位置の複数壁面間の距離を測定する光学式測定装置に於いて、前記投影光学系の光軸近傍の光路を遮断する光軸遮断部材を、光軸を中心として投影用の対物レンズの近傍に設け、前記観察光学系の光軸近傍又は(及び)観察光学系の光軸近傍の光路を遮断する光軸遮断部材を、光軸を中心として投影用の対物レンズ又は(及び)観察用の対物レンズの近傍に設けた光触針による光学式測定装置。

請求項（抜粋）：

投影光学系の光軸近傍の光路を遮断する光軸遮断部材を、光軸を中心として投影用の対物レンズの近傍に設け、光軸にほぼ平行でかつ光軸にほぼ一致した測定壁面上の微少領域に投影光を投影する事を特徴とする光触針による光学式測定装置。

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