特許
J-GLOBAL ID:200903079329104673
リードフレーム検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
篠原 泰司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-245134
公開番号(公開出願番号):特開平7-103730
出願日: 1993年09月30日
公開日(公表日): 1995年04月18日
要約:
【要約】【目的】 リ-ドフレームのめっき位置とテープ位置とを同時に検査することによって、リードフレームの外観検査の一層の高速化、合理化を図る。【構成】 照明光源3,照明光源に取り付けた光源用偏光フィルター、撮影用カメラ4,光源用偏光フィルターの偏光軸と80°乃至90°の交角をなす偏光軸を有し撮影用カメラに取り付けた撮影用偏光フィルター、画像処理装置5などを備えたリードフレーム検査装置であり、、2値化レベルをリードフレームのめっき部とテープ部の両方で、同時に抽出するように設定することができる。
請求項(抜粋):
検査されるべきリードフレームに対する照明光源と、前記照明光源に取り付けた光源用偏光フィルターと、前記リードフレームに対する撮影用カメラと、前記光源用偏光フィルターの偏光軸と80°以上の交角をなす偏光軸を有し前記撮影用カメラのレンズの前に配置した撮影用偏光フィルターと、画像処理装置とを備えたリードフレーム検査装置。
IPC (3件):
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭61-031909
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光沢検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-258526
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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