アクテイブ型防振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐野弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-346711
公開番号（公開出願番号）：特開平10-169702
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】過大な振動により、前記加速度センサが破壊したり、前記防振台が大きく振動することを防止するアクティブ型防振装置を提供する。【解決手段】「被載置物」としての光学測定機器4が載置された防振台1の外乱による振動を「振動検出手段」としてのサーボ型加速度センサ5により検出し、該検出値に応じて能動的振動抑制手段にて前記振動を打ち消すように前記防振台1を制御して能動的に振動を抑制するアクティブ型防振装置において、前記防振台1に過大な外乱が作用する前に該外乱を予知する「予知手段」としてのP波検出器7を設け、P波検出器7からの信号により、前記能動的振動抑制手段による駆動を停止し、且つ、前記防振台1を固定する固定手段を設けた。

請求項（抜粋）：

被載置物が載置された防振台の外乱による振動を振動検出手段により検出し、該検出値に応じて能動的振動抑制手段にて前記振動を打ち消すように前記防振台を制御して能動的に振動を抑制するアクティブ型防振装置において、前記防振台に過大な外乱が作用する前に該外乱を予知する予知手段を設け、該予知手段からの信号により、前記能動的振動抑制手段による駆動を停止し、且つ、前記防振台を固定する固定手段を設けたことを特徴とするアクティブ型防振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/02 , G05D 19/02

FI (2件)：

F16F 15/02 A , G05D 19/02 D

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平4-019438
特開平4-019438
制振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-033557 出願人：株式会社大林組, トキコ株式会社

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