特許

J-GLOBAL ID：200903079340514638

電界放出素子

発明者： 冨田 正晴 ,  伊藤 茂生 ,  円谷 和彦 ,  矢野 和行
出願人/特許権者： 双葉電子工業株式会社
代理人 (1件)： 脇 篤夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-269741
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111156
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 引出電極の周囲に集束電極などを制約なしに設けることができる電界放出素子を提供する。【解決手段】 カソード基板側の絶縁層12の上層に引出電極6が形成され、絶縁層12および引出電極6に開口部6aが形成され、この開口部6aの内にコーン状エミッタ11が形成されている。絶縁層12の上層には引出電極6の周囲に集束電極1が形成され、ゲート電極ライン2も形成されている。絶縁層12の下層には結線7、抵抗層3、カソード電極ライン4が形成されている。引出電極6は、コンタクトホール5aを介して結線7と電気的に接続され、ゲート電極ライン2はコンタクトホール5bを介して結線7と電気的に接続される。

請求項（抜粋）：

絶縁層、該絶縁層の上層に形成された引出電極、前記絶縁層および前記引出電極に形成された開口部、該開口部内に形成されたエミッタ、ゲート電極ライン、および、カソード電極ラインを有する電界放出素子において、前記絶縁層の上層に前記ゲート電極ラインが形成され、前記絶縁層の下層に結線が形成され、前記引出電極は第1の層間接続部を介して前記結線と電気的に接続され、前記ゲート電極ラインは第2の層間接続部を介して前記結線と電気的に接続されたことを特徴とする電界放出素子。