特許
J-GLOBAL ID：200903079349350328
ウエーハ剥し装置およびウエーハ剥し方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353865
公開番号（公開出願番号）：特開平5-162915
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 研磨工程を経たウェーハをウェーハ貼付プレートから剥し、洗浄用キャリヤに装填する一連の作業を自動化する。【構成】 プレート回転台21上でウェーハ貼付プレート1を回転させ、光センサ22がウェーハ貼付プレート1の基準点1aを検出すると回転が停止し、ウェーハ剥し機構20のアーム24と1枚のウェーハ3の中心とが一致する。シリンダ27が作動すると、ハンド25の爪26がウェーハ3とウェーハ貼付プレート1との隙間に食い込んでウェーハ3を剥す。次に軸23が回転して、ウェーハ3をウェーハ搬送ベルト31上に下ろし、ウェーハ3はキャリヤ2内に送られる。このような作業サイクルを1ロット分のウェーハ貼付プレートがすべて処理されるまで繰り返す。
請求項（抜粋）：
ウェーハ貼付プレートをウェーハ剥し機構に送るウェーハ貼付プレート搬送機構と、ウェーハ貼付プレートを載置して回転するプレート回転台と、ウェーハ貼付プレートに設けた基準点を検出するセンサと、上下動および回動するアーム先端に設けた開閉自在のハンドとを備えたウェーハ剥し機構と、ウェーハ搬送ベルトとキャリヤ昇降手段とを備えたウェーハ装填機構と、前記ウェーハ貼付プレート搬送機構、ウェーハ剥し機構、ウェーハ装填機構に対する制御装置とからなることを特徴とするウェーハ剥し装置。
IPC (4件)：
B65H 29/54
, B24B 37/04
, B25J 13/08
, H01L 21/304 321
