特許
J-GLOBAL ID：200903079352564924
ターボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-165165
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014186
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：
【要約】【目的】 締結部品のゆるみを低減させることができるターボ分子ポンプを提供する。【構成】 回転軸3と回転翼1とを締結する締結手段4を備えたターボ分子ポンプであって、この締結手段4は回転軸3あるいは回転翼に対する雄ねじ部材となる第1ねじと第2ねじを備えている。この第1ねじは第1の雄ねじ部を備えており、第2ねじは、この第1の雄ねじ部と螺合する雌ねじ部を内周面に有した第2の雄ねじ部と、第1の雄ねじ部を通す貫通孔を内部に有した第3の雄ねじ部とを備え、第2の雄ねじ部および第3の雄ねじ部の間に少なくとも一部に分離部が形成されている。第1ねじと第2ねじとの螺合させると、第2ねじの2つの雄ねじ部は分離部によって異なる方向に移動する。この移動方向の異方性によって、各雄ねじ部が被締結物に作用する方向を異ならせることができ、これによって、遠心力や振動により締結手段に作用するゆるみを減少させる。
請求項（抜粋）：
回転軸と回転翼とを締結する締結手段を備えたターボ分子ポンプであって、前記締結手段は第1ねじと第2ねじを備えた回転軸あるいは回転翼に対する雄ねじ部材であり、前記第1ねじは、第1の雄ねじ部を備え、前記第2ねじは、第1の雄ねじ部と螺合する雌ねじ部を内周面に有した第2の雄ねじ部と、第1の雄ねじ部を通す貫通孔を内部に有した第3の雄ねじ部とを備え、第2の雄ねじ部および第3の雄ねじ部の間に少なくとも一部に分離部が形成されており、前記第1ねじと第2ねじとの螺合によって、回転軸あるいは回転翼に対する第2の雄ねじ部および第3の雄ねじ部の接触方向を異ならせることを特徴とすターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04D 19/04 D
, F16B 35/00 Z
