特許

J-GLOBAL ID：200903079359851775

基板搬送装置

発明者： 高橋 嘉裕 ,  神藤 建太
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-146813
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332603
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】簡易な構成で基板を適切な保持力で保持し、短時間に搬送することができる基板搬送装置を提供すること。【解決手段】基板Wを収納するための基板収納部1と、前記基板Wを保持する保持部7と、前記基板収納部1内の前記基板Wの少なくとも有無を検出するセンサ部5と、前記基板収納部1の重量を検出する重量検出部Gと、前記センサ部5と前記重量検出部Gとの出力に基づいて前記基板の重量を算出する演算手段PCと、前記基板Wの重量に基づいて前記保持部7の保持力と搬送特性との少なくとも一方を変更する制御部PCとを有する。

請求項（抜粋）：

基板を収納するための基板収納部と、前記基板収納部に収納された前記基板を保持して搬送する保持部と、前記基板収納部内の前記基板の有無を検出するセンサ部と、前記基板収納部の重量を検出する重量検出部と、前記センサ部と前記重量検出部との出力に基づいて前記基板の重量を算出する演算手段と、前記基板の重量に基づいて前記保持部の保持力と搬送特性との少なくとも一方を変更する制御部とを有することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 B ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 G

Fターム (16件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA08 ,  5F031GA36 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA01 ,  5F031JA06 ,  5F031JA12 ,  5F031JA22 ,  5F031JA43 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51