特許
J-GLOBAL ID:200903079361668643

基板搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西野 卓嗣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-006734
公開番号(公開出願番号):特開平5-193717
出願日: 1992年01月17日
公開日(公表日): 1993年08月03日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 基板サイズに関係なく所定位置に基板を搬送できるようにする。【構成】 制御装置のRAMに記憶された原点位置データに基づいてCPUは、パルスモータを制御してトランスファ20を所定原点位置に移動させる。そして、該トランスフア20の送り爪28、29を供給コンベア12及びXYテーブル9上の基板6の後端部に当接させた状態で、再びパルスモータの駆動により送り爪28、29を移動させる。また、RAMに記憶された移動距離データに基づいてCPUは、パルスモータを制御してトランスファ20を所定量移動させて、供給コンベア12及びXYテーブル9上の基板6を夫々テーブル9及び排出コンベア16上へ送る。
請求項(抜粋):
上流側装置上の基板を作業テーブル上へ、該テーブル上の基板を下流側装置へ搬送する基板搬送装置に於いて、前記上流側装置及び作業テーブル上の夫々の基板の後端に当接する送り爪を有する送り部材と、該送り部材をガイドに沿って往復移動させる駆動源と、前記基板の種類毎の前記送り部材の原点位置データを記憶する記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータに基づいて前記駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件):
B65G 25/08 ,  B65G 47/82 ,  H05K 13/02 ,  B65G 43/00
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特公平3-006088
  • 特開昭62-096226
  • 特開平1-239864

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