特許
J-GLOBAL ID：200903079362523886
プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252730
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096747
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】プローブカードにおけるプローブ針の修理や交換を可能にし、コスト削減および運用面での実用性を高めることにある。【解決手段】半導体素子の電極と同位置に加工された穴を持つ上部位置決めプレート2a,2bと、これらに挟まれる可動プレート4と、下部位置決めプレート5とから構成され且つプローブ針1をマトリックス状に配置されたコンタクトブロック8を印刷配線板7に結合する。この可動プレート4を可動プレート固定部品6で横方向に移動させ、各プレートの壁面とプローブ針1とを圧接することによりプローブ針1を上下方向に固定する。
請求項（抜粋）：
半導体素子の電極と同位置に加工された穴を持つ複数の上部位置決めプレートと、前記複数の上部位置決めプレートに挟まれる可動プレートと、下部位置決めプレートと、前記各プレートを貫通し且つマトリックス状に配置されたプローブ針と、前記可動プレートを横方向に移動させる可動プレート固定部品とを備えたコンタクトブロックをプリント配線板に結合し、各プレートの壁面に前記プローブ針を圧接して前記プローブ針を固定することを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
