特許
J-GLOBAL ID：200903079365496154
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-272901
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027037
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 画像処理を用いて表面の欠陥を検出する欠陥検査装置において、表面に鋭角的に変化するポイント(エッジ)がある検査対象を検査する場合、エッジの部分は欠陥として誤判定せず、欠陥だけを欠陥として検出できる欠陥検査装置を得る。【構成】 表面にエッジが存在する検査対象を検査する場合は、非エッジ部分とエッジ部分とを区別し得る閾値としての限度値を予め設定しておき、検査対象の入力画像値が限度値よりも大きい時は入力画像値を限度値に置き換えてから欠陥判定処理を行う。【効果】 欠陥判定基準となる基準値をより小さくできるので、より微小な欠陥をも検出可能である。
請求項（抜粋）：
検査対象の像を濃淡画像信号として入力し各画素の画像値として格納する手段と、各画素に対して周囲の画像値との変化分を演算する手段とを備え、算出された上記変化分が予め定められた基準値より大きい時、その画素に対応する検査対象の表面部分に欠陥があると判定する欠陥検査装置において、表面上に鋭角的に変化するポイント(エッジ)がある検査対象を検査する場合には、予め欠陥のない検査対象の画像信号をもとに、非エッジ部分とエッジ部分とを区別し得る閾値としての限度値を設定しておき、入力した上記画像値が限度値より大きい時は画像値を限度値に置き換えてから欠陥判定することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G06F 15/62 400
