特許
J-GLOBAL ID：200903079367138166
光遮断層として積層されたカラ-フィルタ-を有するイメ-ジセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三枝 英二 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182820
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031441
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】金属層間絶縁膜キャパシタンスによる製品の動作速度の低下を防止し、金属層間絶縁のために積層された絶縁膜の厚さを減少させ、これによりイメージセンサの光感知領域に入射される光の量を最大限増加させ、製品の画質を改善できるイメージセンサを提供することである。【解決手段】基板上にフィールド酸化膜により互いに分離された複数のフォトダイオードが形成された光感知領域と、光感知領域からの信号を処理するための周辺回路領域と、金属配線が施された基板上に形成された保護層と、各フォトダイオードに対応して上記保護層上で上記光感知領域にパター二ングされたカラーフィルターアレイと、上記保護層上で上記周辺回路領域にパターンされ、上記3種類のカラーのうち少なくとも2種類の色のカラーフィルターが積層されて形成された光遮断層とを含んでいることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
イメージセンサにおいて、基板上にフィールド酸化膜により互いに分離された複数のフォトダイオードが備えられた光感知領域と、光感知領域からの信号を処理するための周辺回路領域と、金属配線が施された基板上に形成された保護層と、各フォトダイオードに対応して上記保護層上で上記光感知領域にパター二ングされたカラーフィルターアレイと、上記保護層上で上記周辺回路領域にパターンされ、上記3種類のカラーのうち少なくとも2種類の色のカラーフィルターを積層して形成された光遮断層と、を含んでなるイメージセンサ。
引用特許：
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