特許

J-GLOBAL ID：200903079368443833

磁気軸受装置

発明者： 芦田 修
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-325409
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166138
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】 位置センサのセンサ信号の調節精度を向上させ、回転軸位置の再現性を向上させた磁気軸受装置を提供する。【解決手段】 磁気軸受において、磁気軸受装置が通常行う電磁石への電流供給を停止し、電流供給手段30は、調整する位置センサの方向と直交する一対の電磁石に交流電流を供給するとともに、調整する位置センサの方向の電磁石に直流電流を供給する。これによって、回転軸は調整する位置センサの近傍において検出方向と直交する方向に振動運動を行う。位置センサはこの回転軸の運動を検出し、センサ信号調節手段22は、検出信号に基づいて位置センサのセンサ信号のゲイン調節やオフセット調節の調節量の調整を行う。

請求項（抜粋）：

回転軸を半径方向に支持する電磁石と回転軸の半径方向の位置を検出する位置センサと該位置センサのセンサ信号調節手段を備え、位置センサのセンサ信号に基づいて電磁石に供給する励磁電流を制御して回転軸を磁気浮上させるラジアル磁気軸受装置において、位置センサの検出方向の電磁石に直流電流を供給し、該検出方向と直交する方向の一対の電磁石に交流電流を供給する電流供給手段とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。