特許

J-GLOBAL ID：200903079384118080

基板洗浄装置

発明者： 志摩 泰正
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-349202
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171983
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】 基板より除去されたパーティクルを効率よく洗浄用ブラシの外部に排出することにより、基板を連続して洗浄する場合においても有効に基板を洗浄することのできる基板洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】 洗浄用ブラシ10は、モータ51の駆動を受けて回転する本体12と、本体12の基面に植設された毛状体13とを備える。毛状体13は、例えば直径0.1mm程度のナイロン繊維から成る毛を複数本束ね、これらの毛を二つ折りにしてその中央部を金具によって本体12に埋め込むことにより、直径数mm程度の束状に形成された毛の集合体として構成される。この毛状体13は、本体12の基面において、本体12の回転中心の周りをそこから遠ざかりながら回転する連続線である螺線14上に植設されている。そして、この洗浄用ブラシ10は、モータ51の駆動により、螺線14の回転方向と逆方向に回転する。

請求項（抜粋）：

洗浄液が供給された基板を洗浄用ブラシにより洗浄する基板洗浄装置において、回転可能に支持された本体と、前記本体の基面において、前記本体の回転により洗浄液を外部に排出するような配置で植設された毛状体とを有する基板洗浄用ブラシと、前記洗浄用ブラシを回転させる回転駆動手段と、を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  A46B 7/08 ,  A46B 9/02 ,  B08B 1/04

FI (4件)：

H01L 21/304 341 B ,  A46B 7/08 ,  A46B 9/02 ,  B08B 1/04