特許
J-GLOBAL ID：200903079386267341
処理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169553
公開番号（公開出願番号）：特開平11-003852
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 処理システム内の液処理装置と熱処理装置を近接配置可能とすることで,処理システム全体のコンパクト化を図る。【解決手段】 レジスト処理装置COT1、COT2内の雰囲気を外部へ排気するための排気管81を、ポストベーキング装置POBAKEおよびプリベーキング装置PREBAKEなどの熱処理装置側に設けることによって、熱処理装置からレジスト処理装置への熱的影響を遮断する。
請求項（抜粋）：
被処理基板に対して所定の液を供給して当該被処理基板に処理を施す液処理装置と、被処理基板に対して熱処理を施す熱処理装置とを備えた処理システムにおいて、前記液処理装置内の雰囲気の排気ダクトが、当該液処理装置における前記熱処理装置側に配置されたことを特徴とする、処理システム。
FI (2件)：
H01L 21/30 566
, H01L 21/30 571
