特許

J-GLOBAL ID：200903079393828286

感放射線性樹脂組成物

発明者： 永井 智樹
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-107447
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292463
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】 液浸露光時に際して水に安定な被膜となり、液浸耐性および解像度に優れる。【解決手段】 液浸露光用感放射線性樹脂組成物を構成する酸発生剤がフッ素原子を含む酸発生剤であり、特にオニウム塩のカチオン部位が少なくとも1個のフッ素原子を含み、またオニウム塩がスルホニウム塩であり、オニウム塩のアニオン部位が下記式(1)または式(2)で表される。【化1】 式(1)および式(2)において、Rfはフッ素原子またはパーフルオロアルキル基を、Rはフッ素原子を含まない1価の有機基を、nは1〜5の整数を、mは1〜3の整数をそれぞれ表す。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レンズとフォトレジスト膜との間に水を介して放射線照射する液浸露光に用いられる感放射線性樹脂組成物であって、該感放射線性樹脂組成物を構成する酸発生剤がフッ素原子を含む酸発生剤であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (10件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-341445   出願人：株式会社ニコン