特許
J-GLOBAL ID：200903079394755932
光ヘテロダイン計測方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 正紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-323345
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159607
出願日： 1995年12月12日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】サンプルの光屈折率についての情報を得る。【解決手段】光ヘテロダイン方式において低コヒーレント光を用いる。
請求項（抜粋）：
光源から射出された光を二分し二分された一方であるプローブ光を被検体に照射し、該プローブ光が該被検体を透過してなる透過光と、二分されたもう一方である参照光とを干渉させて得た干渉光を受光する光ヘテロダイン計測方法において、前記光源として所定の低コヒーレント光を射出する光源を用い、前記参照光の光路長を変化させながら、前記干渉光が最大強度となる光路長を、前記プローブ光による前記被検体の各走査点について求めることにより、該被検体の屈折率情報を得ることを特徴とする光ヘテロダイン計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/45 A
, G01N 21/27 H
