特許

J-GLOBAL ID：200903079394866386

オゾン濃度制御方法

発明者： 工藤 篤
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093902
公開番号（公開出願番号）：特開平5-263256
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 オゾナイザーの電気的負荷を全く変動させることなく、オゾン濃度をシャープに変化させる。【構成】 オゾナイザーに、SF6 ,CO2 ,N2 ,ArおよびHeからなる群から選択される少なくとも一種類の添加ガス成分を供給する。オゾン濃度を高める場合は、N2 ,ArおよびHeからなる群から選択される少なくとも一種類の添加ガス成分を供給し、一方、オゾン濃度を低める場合は、SF6 およびCO2からなる群から選択される少なくとも一種類の添加ガス成分を供給する。

請求項（抜粋）：

常圧CVD装置にオゾンを供給するためのオゾナイザーに、SF6 ,CO2 ,N2 ,ArおよびHeからなる群から選択される少なくとも一種類の添加ガス成分を供給することを特徴とするオゾン濃度制御方法。

IPC (4件)：

C23C 16/52 ,  C01B 13/11 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/316