特許

J-GLOBAL ID：200903079399239975

位置測定装置

発明者： ウアルター・フーバー ,  エルウイン・シユパンナー
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-034480
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265310
出願日： 1991年02月28日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】 構造が単純で、占有空間を節約し、構成部品のぐらつきや回転に対して鈍感で、測定方向に一致しない格子の平行移動があっても誤差信号とならない位置測定装置を提供することにある。【構成】 位置測定装置1は、主に間隔センサとして使用される。多数の回折格子4,7での回折とビーム分割および三重プリズム8での反射によって、干渉する部分ビーム束5,6が発生する。これ等のビーム束の光路差ΔOPDは回折格子4,7の間隔変化に直接比例している。この光路差ΔOPDは検出器装置によって明暗の変調として検出される。

請求項（抜粋）：

一つの照明装置と、少なくとも一つの格子目盛で光りビームを回折させて互いに相対運動する二つの対象物の位置を測定する一つの検出装置とを備え、少なくとも一個の光学部材によって、照明ビームを種々の方向に進行する部分ビーム束に分割する位置測定装置において、分割位置の平面(E1;E21)に平行な平面(E2;E22)に回折格子(7;27;37)を装備し、この回折格子のところで部分ビーム束(5,6;25,26;35,36)を互いに平行に指向するように回折させて、平行な部分ビーム束(5,6;25,26;35,36)として逆反射部材(8;28;38)を通過させ、再び回折格子(7;27;37)に入射させ、新たに回折させ、前記平面(E1)の光学部材(4;24;34)に導き、そこで干渉させ、両方の平面(E1;E21とE2;E22)の間隔変化(Ds)がある場合、干渉する部分ビーム束(5,6;25,26;35,36)に間隔の変化に直接比例する光路差の相違(DOPD)が生じ、検出器装置(10;20)によって明暗変調として検出されることを特徴とする位置測定装置。