特許

J-GLOBAL ID：200903079402824728

膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料

発明者： 岡田 敬 ,  松原 稔 ,  後藤 幸平
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 白井 重隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-138309
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316621
出願日： 2000年05月11日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】 保存安定性に優れるとともに、耐熱性、電気絶縁性(比誘電率3以下)、クラック耐性に優れた硬化膜を形成し得る、絶縁膜形成用の組成物を得ること。【解決手段】 (A)テトラカルボン酸二無水物と1分子中にアミノ基を3以上有するポリアミンを含むアミン化合物とを反応させて得られるポリアミック酸およびポリイミドもしくはいずれか一方、ならびに(B)(B-1)R1 a Si(OR2 )4-a で表される化合物および(B-2)R3 b (R4 O)3-b Si-(R7 )d -Si(OR5 )3-c R6 c で表される化合物の群から選ばれた少なくとも1種のシラン化合物の、加水分解物および縮合物もしくはいずれか一方を含有する膜形成用組成物。

請求項（抜粋）：

(A)テトラカルボン酸二無水物と1分子中にアミノ基を3以上有するポリアミンを含むアミン化合物とを反応させて得られるポリアミック酸およびポリイミドもしくはいずれか一方、ならびに(B)(B-1)下記一般式(1)で表される化合物、およびR1 a Si(OR2 )4-a ・・・・・(1)(R1 は水素原子、フッ素原子または1価の有機基を示し、R2 は1価の有機基を示し、aは0〜2の整数を表す。)(B-2)下記一般式(2) で表される化合物 R3 b (R4 O)3-b Si-(R7 )d -Si(OR5 )3-c R6 c ・・・・・(2)(R3 ,R4 ,R5 およびR6 は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示し、bおよびcは、同一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R7 は酸素原子または-(CH2 )n -で表される基を示し、nは1〜6を、dは0または1を示す。)の群から選ばれた少なくとも1種のシラン化合物の、加水分解物および縮合物もしくはいずれか一方を含有することを特徴とする膜形成用組成物。

IPC (12件)：

C09D179/08 ,  C08G 73/10 ,  C08G 77/08 ,  C08J 5/18 CFG ,  C08L 79/08 ,  C08L 83/04 ,  C08L 83/14 ,  C09D183/02 ,  C09D183/04 ,  C09D183/14 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/316

FI (12件)：

C09D179/08 Z ,  C08G 73/10 ,  C08G 77/08 ,  C08J 5/18 CFG ,  C08L 79/08 A ,  C08L 83/04 ,  C08L 83/14 ,  C09D183/02 ,  C09D183/04 ,  C09D183/14 ,  H01L 21/312 C ,  H01L 21/316 G

Fターム (155件)：

4F071AA60 ,  4F071AA67 ,  4F071AH12 ,  4F071AH19 ,  4F071BA02 ,  4F071BB02 ,  4F071BC01 ,  4J002CM041 ,  4J002CP032 ,  4J002CP052 ,  4J002CP082 ,  4J002CP092 ,  4J002CP192 ,  4J002FA040 ,  4J002FA060 ,  4J002FD010 ,  4J002GH01 ,  4J002GH02 ,  4J002GQ01 ,  4J002HA05 ,  4J035BA02 ,  4J035CA01K ,  4J035CA06K ,  4J035CA062 ,  4J035CA11K ,  4J035CA112 ,  4J035CA14K ,  4J035CA142 ,  4J035CA16K ,  4J035CA162 ,  4J035CA17K ,  4J035CA172 ,  4J035CA19K ,  4J035CA192 ,  4J035EA01 ,  4J035EB03 ,  4J035HA01 ,  4J035HB03 ,  4J035LB01 ,  4J038CG142 ,  4J038DD042 ,  4J038DE022 ,  4J038DF012 ,  4J038DJ031 ,  4J038DJ032 ,  4J038DL021 ,  4J038DL022 ,  4J038DL031 ,  4J038DL032 ,  4J038DL041 ,  4J038DL042 ,  4J038DL071 ,  4J038DL072 ,  4J038DL161 ,  4J038DL162 ,  4J038GA06 ,  4J038GA09 ,  4J038GA15 ,  4J038HA096 ,  4J038HA176 ,  4J038HA216 ,  4J038HA336 ,  4J038HA376 ,  4J038HA416 ,  4J038JA33 ,  4J038JA36 ,  4J038JA53 ,  4J038JB01 ,  4J038JB05 ,  4J038JB09 ,  4J038JB25 ,  4J038JB27 ,  4J038JB29 ,  4J038JB33 ,  4J038JC13 ,  4J038JC38 ,  4J038KA03 ,  4J038KA04 ,  4J038MA06 ,  4J038MA09 ,  4J038NA11 ,  4J038NA14 ,  4J038NA21 ,  4J038PA19 ,  4J038PB09 ,  4J038PC02 ,  4J038PC08 ,  4J043PA02 ,  4J043PA05 ,  4J043PA08 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC025 ,  4J043PC195 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB36 ,  4J043QB38 ,  4J043QB39 ,  4J043QB41 ,  4J043RA05 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA07 ,  4J043SA08 ,  4J043SA15 ,  4J043SA85 ,  4J043SB01 ,  4J043SB03 ,  4J043TA22 ,  4J043TA67 ,  4J043TA68 ,  4J043TA71 ,  4J043TA78 ,  4J043TB01 ,  4J043TB03 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA231 ,  4J043UA232 ,  4J043UB011 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB132 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA091 ,  4J043WA09 ,  4J043XA16 ,  4J043XA17 ,  4J043XA19 ,  4J043XB27 ,  4J043YA06 ,  4J043YA07 ,  4J043YB40 ,  4J043ZA06 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB03 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB47 ,  4J043ZB59 ,  5F058AA02 ,  5F058AA08 ,  5F058AA10 ,  5F058AC02 ,  5F058AC03 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03