特許
J-GLOBAL ID：200903079408894612
走査型近接場光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322897
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160740
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 3次元のデータが必要な試料の測定が一度の走査で可能な走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 本発明の走査型近接場光学顕微鏡は、プローブ2が試料1の表面近傍に配置され、このプローブ2により試料1の表面を走査しながら光をもって試料1の表面近傍を測定するものである。特に、走査時に試料1の表面に対し略垂直な方向にプローブ2を振動させるプローブ用スキュナ3と、試料1の表面とプローブ2との間の距離を検出するためのプローブ位置検出用光検出器8と、試料1の表面に対し略垂直な方向への走査によって検出された信号をサンプリングテーブルに従って形成される2つ以上からなる測定データ列として保存するためのデータ保存機構12とを備えたことにより、試料1表面上の3次元データの取得を可能にした。
請求項（抜粋）：
プローブを試料の表面近傍に配置し、前記プローブを該試料の表面に対し略平行な方向に走査しながら光をもって前記試料の表面近傍を測定する走査型近接場光学顕微鏡において、走査時に前記試料の表面に対し略垂直な方向に前記プローブを振動させる機構と、前記試料の表面とプローブとの間の距離を検出する機構と、前記試料の表面に対し略垂直な方向への走査によって検出された信号をサンプリングテーブルに従って形成される2つ以上からなる測定データ列として保存する機構とを備え、前記試料表面上の3次元データを取得するようにしたことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
