特許

J-GLOBAL ID：200903079409416013

異常検査方法およびワイヤボンディング装置の接合良否検査システム

発明者： 大野 晃義 ,  丸山 哲朗
出願人/特許権者： スズキ株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-311132
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137026
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 測定対象物の異常の発生を多重的かつ正確に検出すること。【解決手段】 レーザ共振器で発振する複数のレーザ光を測定対象物の各点にそれぞれ照射する照射工程(ステップS1)と、この照射工程S1によって照射されたレーザ光の前記測定対象物の各測定点からの戻り光をそれぞれ受光する受光工程(ステップS2)と、この受光工程S2で受光し前記共振器内で前記発振したレーザ光と自己混合したレーザ光をそれぞれ光電変換する光電変換工程(ステップS3)とを備えている。しかも、光電変換工程S3で変換されて出力される前記測定対象物の各点のビート波の状態に基づいて前記測定対象物の振動の良否を判定する振動良否判定工程(ステップS4)とを備えた。

請求項（抜粋）：

レーザ共振器で発振する複数のレーザ光を測定対象物の各点にそれぞれ照射する照射工程と、この照射工程によって照射されたレーザ光の前記測定対象物の各測定点からの戻り光をそれぞれ受光する受光工程と、この受光工程で受光し前記共振器内で前記発振したレーザ光と自己混合したレーザ光をそれぞれ光電変換する光電変換工程とを備えると共に、前記光電変換工程で変換されて出力される前記測定対象物の各点のビート波の状態に基づいて前記測定対象物の振動の良否を判定する振動良否判定工程とを備えたことを特徴とする異常検査方法。

IPC (5件)：

G01N 29/00 501 ,  H01L 21/60 301 ,  H01L 21/60 321 ,  H01L 21/607 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 29/00 501 ,  H01L 21/60 301 L ,  H01L 21/60 321 Y ,  H01L 21/607 C ,  H01L 21/66 R

Fターム (19件)：

2G047AB07 ,  2G047AC10 ,  2G047BA04 ,  2G047BC00 ,  2G047BC04 ,  2G047BC05 ,  2G047CA04 ,  2G047GD00 ,  2G047GG09 ,  2G047GG19 ,  4M106AA14 ,  4M106BA05 ,  4M106CA33 ,  4M106DH05 ,  4M106DH12 ,  4M106DH20 ,  4M106DH32 ,  4M106DJ21 ,  5F044JJ01