黒色レジストパターンの形成方法およびカラーフィルターの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-255936
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213910
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】後続の各種の処理によって剥離などを起こさない強固な黒色レジストパターン等を形成することが出来、しかも、透明基板における黒色レジストパターンや各色の画素画像の形成面側および非形成面側における汚れを効率的に除去し得る様に改良された黒色レジストパターンの形成方法とカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】黒色材料が分散された光重合性組成物を透明基板上に塗布した後、加熱乾燥、画像露光、現像および熱硬化の各処理を行って黒色レジストパターンを形成するに当たり、上記の現像処理後であって熱硬化処理前に透明基板の表面および裏面の両面から放射線照射処理を行う。赤、緑、青の材料が各々分散された各光重合性組成物を使用し、上記のブラックマトリクス形成面に、熱硬化以外は上記と同様の処理を行なって各色の画素画像を形成し、そして、上記の各現像処理のうち少なくとも最終の現像処理後には熱硬化処理を行う。

請求項（抜粋）：

黒色材料が分散された光重合性組成物を透明基板上に塗布した後、加熱乾燥、画像露光、現像および熱硬化の各処理を行って黒色レジストパターンを形成するに当たり、上記の現像処理後であって熱硬化処理前に透明基板の表面および裏面の両面から放射線照射処理を行うことを特徴とする黒色レジストパターンの形成方法。

IPC (5件)：

G03F 7/40 501 , G02B 5/00 , G02B 5/20 101 , G02B 5/22 , G03F 7/004 505

FI (5件)：

G03F 7/40 501 , G02B 5/00 B , G02B 5/20 101 , G02B 5/22 , G03F 7/004 505

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