特許
J-GLOBAL ID：200903079415450339
オートフォーカス装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-104408
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297262
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】本発明は、簡単な構成でかつパターンが形成されてなくても又反射率の異なる境界面が存在していても正確に焦点を合わせられる。【構成】光源(30)からの光が照射光学系(31)により対象物(33)上に照射され、その反射光が対物レンズ(43)からビームスプッタ(36)を通って取り出される。この反射光は分岐光学系(46)により2方向に分岐され、一方の反射光が第1光学系(47)からこの焦点よりも例えば前側に配置された第1ピンホール板(48)を通過して第1受光素子(49)で受光され、又他方の反射光が第2光学系(50)からこの焦点よりも例えば後側に配置された第2ピンホール板(51)を通過して第2受光素子(52)で受光される。そして、これら第1及び第2受光素子(51,52) での各受光量が同一となるように調整手段(60)により対象物(33)に対する対物レンズ(43)の位置が調整される。
請求項（抜粋）：
光源から放射された光をビームスプリッタを透過した後に対物レンズにより集光して対象物上に照射し、この対象物からの反射光を前記対物レンズにより絞り込んで前記ビームスプッタにより取り出す照射光学系と、前記ビームスプリッタにより取り出された反射光を2方向に分岐する分岐光学系と、反射光を集光する集光光学系と、この集光光学系の焦点よりも前側に配置された第1ピンホール板と、この第1ピンホール板を通過した反射光を受光する第1受光素子と、前記分岐光学系により分岐された他方の反射光の焦点よりも後側に配置された第2ピンホール板と、この第2ピンホール板を通過した反射光を受光する第2受光素子と、これら第1及び第2受光素子の各受光量が同一となるように前記対象物に対する前記対物レンズの位置を調整する調節手段とを具備したことを特徴とするオートフォーカス装置。
IPC (3件)：
G02B 7/28
, G01B 11/24
, G03F 1/08
