特許
J-GLOBAL ID：200903079417865633
フィルム状基材への膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-166253
公開番号（公開出願番号）：特開平10-008249
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：
【要約】【課題】 アーク放電式真空蒸着装置等において、真空槽内のコーティングロールにフィルム状基材を巻き掛け走行させながら膜形成を行う場合、基材が熱容量の小さな金属箔などでは、局部的な温度上昇に伴い熱膨張が生じる。このときの幅方向の寸法変化が、コーティングロールへの一様な密着状態により全体にわたって拘束されているため、基材にシワが発生する。【解決手段】 コーティングロール8の外周面を、端部側の径が中央よりも小さなクラウン状に形成する。これにより、フィルム状基材5は、ロール8との密着度合いが端部側で小さくなり、摩擦力が低下して拘束力が弱くなる。この結果、熱膨張に伴う幅方向の変位が端部側で許容され、これによって、シワの発生が抑えられた高品質のコーティング製品を得ることができる。
請求項（抜粋）：
真空槽内に冷却手段を備えたコーティングロールが設けられ、このコーティングロール外周面にフィルム状の基材を巻き掛け走行させながら、巻き掛け領域における基材表面に蒸発源からの蒸発物質を付着させ膜形成を行うフィルム状基材への膜形成装置において、上記コーティングロールの外周面が、これに巻き掛けられる基材の幅方向端部側に対応する位置での外径を中央よりも小さくして形成されていることを特徴とするフィルム状基材への膜形成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/56 B
, C23C 14/50 K
