特許

J-GLOBAL ID：200903079429557772

光記録媒体用原盤の製造方法

発明者： 田村 知之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172134
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006228
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 プリフォーマットパターンの断面形状が台形形状である光記録媒体用原盤を安価に製造する方法を提供する。【解決手段】 少なくとも基板6上にレジスト膜5を形成する成膜工程と、該レジスト膜5の表面にマスク3を介して平行光を露光する露光工程及び露光後に現像を行う現像工程を有する光記録媒体用原盤の製造方法において、前記露光工程がレジスト膜5の表面とマスク3の間にレジストが感光する光を透過する光透過性フィルム4を介して真空密着露光を行う工程を有する光記録媒体用原盤の製造方法。

請求項（抜粋）：

少なくとも基板上にレジスト膜を形成する成膜工程と、該レジスト膜の表面にマスクを介して平行光を露光する露光工程及び露光後に現像を行う現像工程を有する光記録媒体用原盤の製造方法において、前記露光工程がレジスト膜の表面とマスクの間にレジストが感光する光を透過する光透過性フィルムを介して真空密着露光を行う工程を有することを特徴とする光記録媒体用原盤の製造方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 ,  G11B 7/00

FI (2件)：

G11B 7/26 501 ,  G11B 7/00 P

Fターム (12件)：

5D090AA01 ,  5D090BB01 ,  5D090CC01 ,  5D090DD03 ,  5D090DD05 ,  5D090EE02 ,  5D090GG07 ,  5D121BB02 ,  5D121BB04 ,  5D121BB21 ,  5D121BB25 ,  5D121BB38