特許

J-GLOBAL ID：200903079433274599

熱型センサ

発明者： 笹原 隆彦
出願人/特許権者： 矢崎総業株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-265217
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091486
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 高温での使用や間歇加熱を行ってもヒータの剥離やダイアフラムの破壊がなく、経時変化の少ない安定した熱型センサを提供する。【解決手段】 シリコン酸化膜及び/あるいはシリコン窒化膜から形成されたダイアフラム上に薄膜ヒータを有する熱型センサにおいて、シリコン酸化膜及び/あるいはシリコン窒化膜から形成される上記ダイアフラムと薄型ヒータとの間に酸化ハフニウム層を有する熱型センサ。

請求項（抜粋）：

シリコン酸化膜及び/あるいはシリコン窒化膜から形成されたダイアフラム上に薄膜ヒータを有する熱型センサにおいて、シリコン酸化膜及び/あるいはシリコン窒化膜から形成される上記ダイアフラムと薄型ヒータとの間に酸化ハフニウム層を有することを特徴とする熱型センサ。

IPC (3件)：

G01N 27/16 ,  G01N 27/12 ,  G01N 27/409

FI (3件)：

G01N 27/16 B ,  G01N 27/12 D ,  G01N 27/58 B

Fターム (47件)：

2G004BE12 ,  2G004BE22 ,  2G004BF02 ,  2G004BJ02 ,  2G004BK04 ,  2G004BL08 ,  2G004BL17 ,  2G004BL18 ,  2G004BM07 ,  2G046AA01 ,  2G046AA02 ,  2G046BA01 ,  2G046BB04 ,  2G046BC04 ,  2G046BE02 ,  2G046BF04 ,  2G046DA05 ,  2G046DB05 ,  2G046DC11 ,  2G046DD01 ,  2G046DD03 ,  2G046EA07 ,  2G046EA11 ,  2G046EB06 ,  2G046FB01 ,  2G046FB02 ,  2G046FB06 ,  2G046FE14 ,  2G046FE38 ,  2G060AA02 ,  2G060AB01 ,  2G060AB15 ,  2G060AE19 ,  2G060AF02 ,  2G060AF04 ,  2G060AF07 ,  2G060AG06 ,  2G060AG10 ,  2G060BA01 ,  2G060BA03 ,  2G060BA05 ,  2G060BB02 ,  2G060HA01 ,  2G060HA03 ,  2G060HB06 ,  2G060HE01 ,  2G060HE03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 接触燃焼式ガスセンサ及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-161521   出願人：矢崎総業株式会社
• 接触燃焼式ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-213507   出願人：矢崎総業株式会社
• 特開昭61-172054