特許

J-GLOBAL ID：200903079445402886

光学系の評価方法

発明者： 田中 一政 ,  小澤 稔彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-297846
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121491
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】光学系による波面収差に基づいて、光学系の結像性能をより正確に表現することが出来る評価手法を提供する。【解決手段】光学系14の結像性能を評価する方法において、光学系14を通過した波面収差W(ρ,θ)を瞳の中央を中心とする回転対称成分Wrot(ρ,θ)と、奇数対称成分Wodd(ρ,θ)と、偶数対称成分Wevn(ρ,θ)に分離し、分離された前記各成分Wrot、Wodd、Wevnに基づいて前記光学系の結像性能を評価することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光学系の結像性能を評価する方法において、前記光学系を通過した波面収差を前記光学系の瞳を中心とする回転対称成分と、奇数対称成分と、偶数対称成分に分離し、分離された前記各成分に基づいて前記光学系の結像性能を評価することを特徴とする光学系の評価方法。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01M 11/00 L ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 516 Z

Fターム (11件)：

2G086EE12 ,  2G086HH05 ,  2G086HH06 ,  2G086HH07 ,  5F046BA03 ,  5F046CA08 ,  5F046DA13 ,  5F046DB01 ,  5F046DC04 ,  5F046EA03 ,  5F046EC05