特許
J-GLOBAL ID：200903079448167373
透明板の欠陥検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-256065
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110302
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】被検査物体内の欠陥を容易に検出できる安価な透明板の検出装置の提供を目的とする。【構成】透明板の被検査物体1の欠陥を検出3する透明板の欠陥検出装置において、被検査物体1の一方の側より照明光を当てる照明光源4と、照明光源4による被検査物体1の透過光を他方の側より撮像するテレビカメラ2と、被検査物体1と照明光源4の間に透明部11aと不透明部11bを有するマスク11とを設けたものである。
請求項（抜粋）：
透明板の被検査物体の欠陥を検出する透明板の欠陥検出装置において、前記被検査物体の一方の側より照明光を当てる照明光源と、前記照明光源による前記被検査物体の透過光を他方の側より撮像するテレビカメラと、前記被検査物体と前記照明光源の間に透明部と不透明部を有するマスクとを設けたことを特徴とする透明板の欠陥検出装置。
IPC (2件)：
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