平面表示装置用アレイ基板

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：蔦田璋子 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-376498
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182236
出願日： 2000年12月11日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】透光性厚型樹脂膜、TFT上の遮光膜、及び柱状スペーサを備える平面表示装置用アレイ基板において、製造工程数を少なくすることができるとともに、製造工程数の削減によって他の不良を発生させることのないものを提供する。【解決手段】透光性厚型樹脂膜5にはTFT7のチャネル部71近傍の個所に抜き部51を設けておく。遮光性厚型樹脂膜8を、抜き部51の個所、及び走査線11上の所定個所にのみ形成させる。これにより、柱状スペーサ-は、遮光性厚型樹脂膜8と透光性厚型樹脂膜5とが重ねられる、走査線11上の所定個所でのみ形成される。一方、TFT7のチャネル部71近傍は遮光性厚型樹脂膜8により充分に遮光される。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に配置されるゲート電極、前記ゲート電極上にゲート絶縁膜を介して配置される半導体活性膜、及び、前記半導体活性膜に電気的に接続されるソース及びドレイン電極を含み、前記ソース及びドレイン電極間の前記半導体活性膜をチャネル部となす薄膜トランジスタと、前記ゲート電極に電気的に接続される複数の走査線と、前記ドレイン電極に電気的に接続され、前記走査線に略直交して配置される複数の信号線と、前記走査線及び信号線により囲まれる領域内に配置される光透過性絶縁膜と、前記光透過性絶縁膜上に配置され、前記ソース電極と前記光透過性絶縁膜のコンタクトホールを介して電気的に接続された画素電極と、前記光透過性絶縁膜上に配置される遮光性樹脂膜と、を備えた表示装置用アレイ基板において、前記光透過性絶縁膜は前記薄膜トランジスタの少なくとも前記チャネル部に対応する領域に抜き部または凹部を含み、前記抜き部または凹部に前記遮光性樹脂膜が選択的に配置されるとともに、前記光透過性絶縁膜と、この前記光透過性絶縁膜上に配置される前記遮光性樹脂膜とで柱状スペーサを成すことを特徴とする平面表示装置用アレイ基板。

IPC (5件)：

G02F 1/1368 , G02F 1/1339 500 , G09F 9/30 320 , G09F 9/30 338 , H01L 29/786

FI (5件)：

G02F 1/1368 , G02F 1/1339 500 , G09F 9/30 320 , G09F 9/30 338 , H01L 29/78 619 A

Fターム (58件)：

2H089LA09 , 2H089LA10 , 2H089LA11 , 2H089LA20 , 2H089MA03X , 2H089QA05 , 2H089QA12 , 2H089QA13 , 2H089TA12 , 2H092GA29 , 2H092JA24 , 2H092JA28 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JA46 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092JB51 , 2H092NA27 , 2H092PA03 , 2H092PA08 , 5C094AA09 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA15 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094EC03 , 5C094ED15 , 5F110AA16 , 5F110CC07 , 5F110EE06 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG33 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK08 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK25 , 5F110HL07 , 5F110NN02 , 5F110NN12 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN49 , 5F110NN72

前のページに戻る