特許
J-GLOBAL ID：200903079455989788
レンズの光学特性測定方法とその装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-080581
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243515
出願日： 1996年03月09日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 被測定レンズの全レンズ面位置について、被測定レンズ単独の光学特性の測定が可能なレンズの光学特性測定方法を提供する。【解決手段】 スリット2を通過させ、コリメートレンズ3でコリメートした測定用ビームB1を被測定レンズ5に入射した場合と、測定用ビームB1をミラー26a〜26dで被測定レンズ5を迂回させた場合とにつき、ラインセンサ10の受光信号が検出され、それぞれの検出値に基づき、マイクロコンピュータ21によりフーリエ変換が行われ、MTF値がそれぞれ演算され、得られたMTF値の差演算により、被測定レンズ5単独のMTF値が、ステージ駆動部14bで変位される被測定レンズ5の全面にわたり演算可能となり、測定用ビームB1を被測定レンズ5に入射した場合と、被測定レンズ5を迂回させた場合とで、ラインセンサ10の受光量が最大となる位置の差を求め、その差演算により測定用レンズ5単独の視度が演算可能になる。
請求項（抜粋）：
スリットを通過させた光源からの光を、コリメートレンズでラインビームに変換し、測定用ビームとして出射する測定用ビーム出射ステップと、被測定レンズが取り付けられ、該被測定レンズを迂回する迂回光学路が着脱自在に取り付けられた被測定ステージに、前記測定用ビームを入射させ、前記被測定ステージから被測定ビームを出射させる被測定ビーム出射ステップと、前記被測定ビームを受光素子で受光する受光ステップと、前記受光素子の受光信号を演算処理することにより、前記被測定レンズの光学特性を演算する演算ステップと、前記迂回光学路の装着時と取り外し時とのそれぞれについて、前記演算ステップで行う演算に基づいて、前記被測定レンズ単独の光学特性を判定する判定ステップとを有することを特徴とするレンズの光学特性測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/02 B
, G01M 11/00 L
