特許
J-GLOBAL ID：200903079465455650
コンデンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-194033
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064766
出願日： 1994年08月18日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 簡単な工程で微細に製造でき、設計の自由度が高いコンデンサを提供する。【構成】 半導体装置等に用いられるような、薄膜層を積層してなる積層膜内に形成されるコンデンサにおいて、前記積層膜のうちの1つの薄膜層をパターニングして形成された複数の電極2、3を、線間絶縁膜4を介して面内方向に対向するように配して、これら電極2、3間に容量を形成する。なお、このコンデンサは、容量を大きくするために、一つの薄膜層内の電極数を増やしたり、あるいは電極を有する薄膜層を層間絶縁膜1,6を介して積層してもよい。
請求項（抜粋）：
薄膜層を積層してなる積層膜内に形成されるコンデンサにおいて、前記積層膜のうちの1つの薄膜層をパターニングして形成された2以上の電極が、線間絶縁膜を介して面内方向に対向するように配され、これら電極間に容量が形成されることを特徴とするコンデンサ。
IPC (3件)：
H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01G 4/33
H01L 27/04 C
, H01G 4/06 102
