特許

J-GLOBAL ID：200903079469889727

ドライエッチングの終点検出方法及び装置

発明者： 鈴木 実
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294154
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139377
出願日： 1995年11月13日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】 被エッチング面積比率の小さな被エッチング膜のドライエッチングにおいても、終点検出が可能なドライエッチング終点検出方法及び装置を提供する。【解決手段】 エッチングにより生成されたエッチング生成物及び/又はプラズマ化したエッチングガスから放射される所定波長の電波の強度を検出する検出部16、17、19と、検出された所定波長の電波の強度の変化に基づいてドライエッチングの終点を決定する終点決定部20、21とを有し、プラズマ化したエッチングガスにより被エッチング膜をエッチングするドライエッチングの終点を検出する。

請求項（抜粋）：

プラズマ化したエッチングガスにより被エッチング膜をエッチングするドライエッチングの終点を検出するドライエッチングの終点検出方法において、エッチングにより生成されたエッチング生成物及び/又はプラズマ化したエッチングガスから放射される所定波長の電波の強度を検出し、前記所定波長の電波の強度変化に基づいてドライエッチングの終点を決定することを特徴とするドライエッチングの終点検出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  G01N 22/00

FI (4件)：

H01L 21/302 E ,  C23F 4/00 F ,  G01N 22/00 Z ,  H01L 21/302 C