特許

J-GLOBAL ID：200903079480536429

電極材料と、その製造方法

発明者： 松林 雄輔 ,  門前 和幸 ,  和田 進
出願人/特許権者： ニッコーシプロダクツ株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-229692
公開番号（公開出願番号）：特開平9-053196
出願日： 1995年08月15日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】プラズマCVD処理やドライエッチング処理における、 400°Cの高温下やフッ素ガス系のプラズマ雰囲気中でさえも、皮膜の剥離やパーティクルの発生を起こさない、強固な皮膜を有するアルミニウムまたはその合金からなる電極材料と、その製造方法を提供する。【解決手段】電極材料は表面に 1,500個/μm2以上の微孔を備えた陽極酸化皮膜を有するアルミニウムまたはその合金からなり、その製造方法はアルミニウムまたはその合金を、硫酸水溶液中で電流密度を0.5A/dm2から 10A/dm2まで、また電解電圧を6〜7Vから20〜25Vまで、それぞれ段階的に上昇しながら反転電流法により陽極酸化した後、pH3〜5の硝酸水溶液に浸漬するものである。

請求項（抜粋）：

表面に 1,500個/μm2以上の微孔を備えた陽極酸化皮膜を有するアルミニウムまたはその合金からなる電極材料。

IPC (6件)：

C25D 11/04 302 ,  C25D 11/04 101 ,  C23F 4/00 ,  C25D 11/18 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/50

FI (6件)：

C25D 11/04 302 ,  C25D 11/04 101 C ,  C23F 4/00 Z ,  C25D 11/18 A ,  H05H 1/46 M ,  C23C 16/50