特許
J-GLOBAL ID：200903079482627898
ターボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308611
公開番号（公開出願番号）：特開2001-132684
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 メンテナンス時期の予測が可能なターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 発光素子21、受光素子22、及び光ファイバ23、24を有しており、発光素子21からの光は、光ファイバ23を経由してポンプ内部の光ファイバ端面23aから出力され、アルミニウム合金からなるロータ翼14で反射され、光ファイバ端面24aに入射され、光ファイバ23を経由して受光素子22に至る。そして、光ファイバ端面23a、24aに生成物が付着することにより、その付着量に関係した光の減衰が生じるので、光の減衰量をモニタすることにより、生成物の付着量を知ることができ、ロータ翼14における生成物の付着量を予測できる。
請求項（抜粋）：
発光素子からターボ分子ポンプ内部の空間へ光を導入する手段と、前記ポンプ内部の空間を通過した光を受光素子へ導出する手段とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Fターム (5件)：
3H031DA02
, 3H031EA03
, 3H031EA15
, 3H031FA00
, 3H031FA01
