特許

J-GLOBAL ID：200903079492011941

水溶性の感光性樹脂組成物

発明者： 久保田 繁 ,  笹原 敦子 ,  肥塚 裕至
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-217803
公開番号（公開出願番号）：特開平6-065415
出願日： 1992年08月17日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】 高感度な水溶性の感光性樹脂組成物を得ることができる。【構成】 一般式(1)【化1】(式中、R1およびR2は各々水素およびアルキル基を、または、R1とR2が連結して環状構造になるアルキレン基を示し、M1およびM2は各々ナトリウム、カリウム、アンモニア、有機アミンなどの陽イオンになりうる原子または原子団を示す)で表されるアジド化合物の少なくとも一種並びに水溶性高分子化合物を含有する。

請求項（抜粋）：

一般式(1)【化1】(式中、R1およびR2は各々水素およびアルキル基を、または、R1とR2が連結して環状構造になるアルキレン基を示し、M1およびM2は各々ナトリウム、カリウム、アンモニア、有機アミンなどの陽イオンになりうる原子または原子団を示す)で表されるアジド化合物の少なくとも一種並びに水溶性高分子化合物を含有する水溶性の感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

C08K 5/42 KBU ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/008