特許
J-GLOBAL ID:200903079495131034
表面電位検出方法、表面電位検出装置及び表面電位センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
阿部 美次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-358432
公開番号(公開出願番号):特開2002-162429
出願日: 2000年11月24日
公開日(公表日): 2002年06月07日
要約:
【要約】【課題】簡単な構成で表面電位を確実に検出し得る新規な表面電位検出装置を提供する。【解決手段】表面電位測定対象Kと検知電極15との間に静止電極15を設け、検知電極15及び静止電極16の周りを、電磁的にシールド10する。そして、シールドのない検知窓101を通して、静止電極16を表面電位測定対象Kに向きあわせ、シールド電位と静止電極16との間のインピーダンスを周期的に変化させる。
請求項(抜粋):
表面電位を検出する方法であって、表面電位測定対象と検知電極との間に静止電極を設け、前記検知電極及び前記静止電極の周りを、電磁的にシールドし、シールドのない検知窓を通して、前記静止電極を前記表面電位測定対象に向きあわせ、シールド電位と前記静止電極との間のインピーダンスを周期的に変化させる表面電位検出方法。
IPC (4件):
G01R 29/12
, G01N 27/60
, G03G 21/00
, G03G 21/00 370
FI (4件):
G01R 29/12 D
, G01N 27/60 E
, G03G 21/00
, G03G 21/00 370
Fターム (6件):
2H027DA02
, 2H027DD09
, 2H027DE05
, 2H027HA12
, 2H027HB14
, 2H034FA07
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