特許

J-GLOBAL ID：200903079496321368

石英ガラス部材の表面処理方法

発明者： 松田 賢治 ,  江崎 正信
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-030244
公開番号（公開出願番号）：特開2004-238262
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】石英ガラス部材の表面に、局所的であっても、簡便に、均一な凹凸を形成することができ、かつ、該凹凸形状の制御が容易な石英ガラス部材の表面処理方法を提供する。【解決手段】研削加工された石英ガラス部材をフッ化水素酸でエッチング処理することにより、表面に凹凸を形成させることを特徴とする石英ガラス部材の表面処理方法を用いて、石英ガラス部材表面を平均表面粗さRaが1.5μm以上10μm以下、最大平均高さRyが10μm以上65μm以下の凹凸状に形成する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

研削加工された石英ガラス部材をフッ化水素酸でエッチング処理することにより、表面に凹凸を形成させることを特徴とする石英ガラス部材の表面処理方法。

IPC (2件)：

C03C15/00 ,  C03C19/00

FI (2件)：

C03C15/00 Z ,  C03C19/00 Z

Fターム (5件)：

4G059AA06 ,  4G059AB03 ,  4G059AC01 ,  4G059BB04 ,  4G059BB14