特許
J-GLOBAL ID：200903079497861536
静電容量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
篠田 實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356956
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194114
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 非接触で膜厚などをより正確に検知できるようにする。【構成】 絶縁物製の面状基板1の片面に内電極3とこれを囲む形状の外電極2とを配置した。【効果】 面状基板の他面に生ずる液の膜厚に応じて内外電極間の静電容量が変化し、この静電容量に対応した出力電圧が得られるので、膜厚を正確に検知できるセンサが得られる。
請求項（抜粋）：
絶縁物からなる面状基板の片面に内電極とこの内電極を囲む形状の外電極とを配置したことを特徴とする静電容量センサ。
IPC (3件)：
G01B 7/06
, G01B 7/00
, G01F 23/26
