特許
J-GLOBAL ID：200903079502430239
スピン乾燥装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-073729
公開番号（公開出願番号）：特開平8-274062
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】 円形基板を安定した状態で高速回転させることができ、円形基板のスピン乾燥を良好に行いうるスピン乾燥装置を提供する。【構成】 回転盤2には、複数の可動爪5が、円形基板8を保持する保持作用位置とその保持作用を解除する保持作用解除位置とに亘って回転自在に枢支されている。各可動爪5と回転盤5との間は、リンク11,12,13により連結されている。回転盤2を正転又は逆転させて、リンク操作体7によりリンク12を揺動させることにより、リンク12,13が直線状又は屈曲状に動作される。可動爪5は、リンク11を介して、リンク12,13を直線状となすことにより保持作用位置に動作され、リンク12,13を屈曲状となすことにより保持作用解除位置に動作される。円形基板8の乾燥時には、リンク操作体7をリンク11,12,13に干渉しない位置へと下降させておく。
請求項（抜粋）：
乾燥槽内に水平回転自在に配設された回転盤と、回転盤を正逆転駆動する駆動機構と、回転盤における回転中心回りの環状領域に一定間隔を隔てて並列配置されており、円形基板を回転盤と同心状の水平状態に固定保持すべく基板周縁部を係合保持しうる保持作用位置とその係合保持作用を解除する保持作用解除位置とに亘って回転自在に枢支された複数の可動爪と、各可動爪と回転盤との間に介装されたリンク機構であって、可動爪の回転支軸に固着された第1リンクと回転盤の回転中心近傍部位に枢支された第2リンクと両リンク間を枢着連結する第3リンクとからなり、第2リンクをこれと第3リンクとが遠心方向に真直状に延びる第1位置に回動することにより可動爪を第1リンクを介して保持作用位置に動作させ得ると共に、第2リンクをこれと第3リンクとが屈曲する第2位置に回動することにより可動爪を第1リンクを介して保持作用解除位置に動作させ得るように構成された可動爪相当数のリンク機構と、乾燥槽に設けられて、各第2リンクに係合して回転盤の回転により当該第2リンクを第1位置又は第2位置へと相対変位させうる基板脱着操作位置と各第2リンクに係合し得ない待機位置とに亘って昇降自在なリンク操作体と、を具備することを特徴とするスピン乾燥装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, F26B 11/08
H01L 21/304 361 S
, F26B 11/08
