特許
J-GLOBAL ID：200903079503875315
電子放出素子、電子源及びそれを用いた画像形成装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345478
公開番号（公開出願番号）：特開平7-182972
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 画像形成装置等の電子源に用いられる電子放出素子の製造方法を提供する。【構成】 対向する電極5,6間に跨がる電子放出部を含む薄膜4を有する電子放出素子の製造方法において、電子放出部を含む薄膜4を形成する工程が、電子放出部形成用薄膜を形成する工程と、電子放出部形成用薄膜に電子放出部3を形成する工程を含み、電子放出部形成用薄膜を形成する工程が、電子放出材料を含む有機金属化合物の分解温度以下の雰囲気中に存在する該有機金属の気体を、その分解温度以上に加熱した基板に接触させて加熱焼成する工程を有することを特徴とする。【効果】 素子の電子放出特性の再現性が確保される。
請求項（抜粋）：
電子放出部を含む薄膜を電極間に有する電子放出素子の製造方法において、上記電子放出部を含む薄膜を形成する工程が、電子放出部形成用薄膜を形成する工程と、該電子放出部形成用薄膜に電子放出部を形成する工程を含み、上記電子放出部形成用薄膜を形成する工程が、電子放出材料を含む有機金属化合物の分解温度以下の雰囲気中に存在する該有機金属の気体を、その分解温度以上に加熱した基板に接触させて加熱焼成する工程を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 31/12
, H01J 31/15
