特許

J-GLOBAL ID：200903079504495257

高純度過酸化水素水溶液の製造方法

発明者： 稲葉 悠紀夫 ,  上野 洋介 ,  渡部 昌彦 ,  西田 幸博
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302960
公開番号（公開出願番号）：特開平8-231208
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、精密電子工業分野、特に高集積度半導体基板の製造に対応できる、不純物が極めて少なく、しかも過酸化水素の濃度が高い水溶液(即ち、高純度かつ高濃度の過酸化水素水溶液)を容易に得ることができる、工業的に好適な過酸化水素水溶液の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明の課題は、フッ素樹脂製の内壁を有すると共にフッ素樹脂製の精留部材が蒸留塔内部に設置されている蒸留塔へ、粗過酸化水素水溶液をその塔底部から供給して、前記粗過酸化水素水溶液の減圧蒸留を行いつつ、該蒸留塔の塔頂部から留出液を還流に用いることなく抜き出すと共に、該蒸留塔の塔頂部へ一定の供給比で超純水を供給しながら、該蒸留塔の中段部より過酸化水素水溶液を抜き出すことを特徴とする高純度過酸化水素水溶液の製造方法によって達成される。

請求項（抜粋）：

フッ素樹脂製の内壁を有すると共にフッ素樹脂製の精留部材が蒸留塔内部に設置されている蒸留塔へ、過酸化水素、有機炭素不純物及び無機不純物を含有する粗過酸化水素水溶液をその塔底部から供給し、内部を減圧とした該蒸留塔の塔底部で前記粗過酸化水素水溶液を加熱して、粗過酸化水素水溶液の減圧蒸留を行いつつ、該蒸留塔の塔頂部から留出液を蒸留操作における還流に用いることなく抜き出すと共に、該蒸留塔の塔頂部へ次式で表される供給比が0.1〜20になるように超純水を供給しながら、【数1】該蒸留塔の中段部より過酸化水素水溶液を抜き出すことを特徴とする高純度過酸化水素水溶液の製造方法。

IPC (5件)：

C01B 15/013 ,  B01D 3/00 ,  B01D 3/10 ,  B01D 3/16 ,  B01J 19/30

FI (5件)：

C01B 15/013 ,  B01D 3/00 A ,  B01D 3/10 ,  B01D 3/16 A ,  B01J 19/30