特許
J-GLOBAL ID:200903079505230621

研磨布特性検出装置およびシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 真田 修治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-121556
公開番号(公開出願番号):特開平10-296615
出願日: 1997年04月25日
公開日(公表日): 1998年11月10日
要約:
【要約】【課題】 研磨布の研磨性能を定量的に検出し、研磨性能の劣化を正確に把握して、適切なタイミングでの研磨布の交換またはドレッシングを可能とする。【解決手段】 測定時には、操作ハンドル12をひねりながら移動させることにより、作動アーム部8を介して起歪アーム部6の先端の圧子1が楕円弧を描くように回動して、ほぼ水平状態まで移動し、平坦面1aが下方に向いて、研磨布Pの表面に当接される。圧子1は、研磨布Pの回転により回転接線方向へ偏倚させようとする力を受け、この偏倚力により起歪アーム部6が撓み変形する。起歪アーム部6に添設したひずみゲージ15および16により、撓み変形を計測する。この計測値は、圧子1に加わっている研磨布Pによる摩擦の大きさに応じた値となる。摩擦の大きさは、研磨布Pの目詰まりおよび摩耗に起因する研磨性能の劣化に対応しているので、研磨性能を定量的に計測することが可能となる。
請求項(抜粋):
研磨布の表面に当接される平坦面を有する圧子と、前記圧子を前記平坦面の向きを調整可能として支持する支持部と、前記支持部を先端部に支持し且つ所定方向について弾性的に撓み変形可能な帯板状の起歪アーム部と、前記起歪アーム部を前記研磨布のほぼ回転中心軸線方向に向けて配置し且つ前記圧子を前記回転中心軸線から所定寸法離れた個所において前記研磨布の表面に所定圧力をもって圧接させて、前記起歪アーム部の基端部を保持する保持部と、前記起歪アームの弾性変形部に添設されたひずみ検出素子とを具備することを特徴とする研磨布特性検出装置。
IPC (2件):
B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321
FI (2件):
B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 321 Z

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