特許

J-GLOBAL ID：200903079510480164

成膜装置および成膜装置に用いる防着部材

発明者： 川楠 秀
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-134538
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316797
出願日： 2000年05月08日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】 基板キャリア表面への膜の付着を防止し、メンテナンスを簡易且つ低コストで行うことができる防着部材を備えた成膜装置を提供する点にある。【解決手段】 成膜装置1は、基板を保持して搬送する基板キャリア10,10,10を備え、当該基板キャリア10に搭載した基板に蒸着粒子を付着させて膜を形成するものであり、前記基板キャリア10の表面への膜の付着を防止する着脱自在の防着部材11a〜11cを前記基板キャリア10の底面に取り付けたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基板を保持して搬送する基板キャリアを備え、当該基板キャリアに搭載した基板に成膜材料粒子を付着させて膜を形成する成膜装置であって、前記基板キャリアへの膜の付着を防止する着脱自在の防着部材を前記基板キャリアの当該表面に装着したことを特徴とする成膜装置。

IPC (5件)：

C23C 14/00 ,  B05B 15/04 103 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205

FI (5件)：

C23C 14/00 B ,  B05B 15/04 103 ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205

Fターム (22件)：

4D073AA01 ,  4D073BB05 ,  4D073DB03 ,  4D073DB04 ,  4D073DB13 ,  4D073DB15 ,  4D073DB43 ,  4K029CA01 ,  4K029DA10 ,  4K029DB21 ,  4K029KA01 ,  4K030GA14 ,  4K030KA12 ,  5F045AA08 ,  5F045BB20 ,  5F045DP05 ,  5F045DP23 ,  5F045EB06 ,  5F045EC05 ,  5F103AA08 ,  5F103BB60 ,  5F103RR10