液状原料供給装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-224404
公開番号（公開出願番号）：特開平9-066228
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】小型の設備で液状原料に混入した加圧ガスの気泡を抜き、液状原料の目詰まり等の事故が発生した場合でも簡便に液状原料を変質させることなく処置を施すことを可能とする。【解決手段】原料送出管2に、バルブ11を介してポリテトラフルオロエチレンよりなる気泡除去管4を接続する。この気泡除去管4は、原料送出管2の上端部に着脱自在に設けられるものであり、当該気泡除去管4と原料送出管2とが一体となって液状原料Mの供給管となる。さらに、気泡除去管4の側壁部4aを被覆するように真空排気管5を設けて2重管構造を形成する。

請求項（抜粋）：

原料収容容器内に収容される液状原料が当該原料収容容器に接続された加圧ガス供給管から供給された加圧ガスの圧力により原料収容容器上部から原料送出管を通じて外部に送出されるようになされた液状原料供給装置であって、上記加圧ガスを透過可能な材料よりなる気泡除去管が上記原料送出管に着脱自在に接続され、液状原料内に混入した加圧ガスの気泡を当該気泡除去管の管壁部から除去するようになされたことを特徴とする液状原料供給装置。

IPC (3件)：

B01J 4/00 103 , C23C 16/44 , H01L 21/205

FI (3件)：

B01J 4/00 103 , C23C 16/44 C , H01L 21/205

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