特許

J-GLOBAL ID：200903079530443150

画像パターンの欠陥検査方法および装置

発明者： 小林 雄二
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073774
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268176
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 従来検出が困難だった画像パターンのエッジ部の欠陥を高精度に検出できる検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 本発明は、画像入力手段から得た画像パターンに対し、該画像パターンの基準座標の検出を行い、所望の第1の領域から画像パターンのエッジを求めて、前記第1の領域を含み、第1の領域に対して大きな第2の領域から画像パターンのエッジを求めて、前記第1の領域から求めたエッジと前記第2の領域から求めたエッジとの位置を比較し、その位置の差の大小から前記画像パターンの良否を判定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

画像入力手段から得た画像パターンに対し、該画像パターンの基準座標の検出を行い、所望の第1の領域から画像パターンのエッジを求めて、前記第1の領域を含み、第1の領域に対して大きな第2の領域から画像パターンのエッジを求めて、前記第1の領域から求めたエッジと前記第2の領域から求めたエッジとの位置を比較し、その位置の差の大小から前記画像パターンの良否を判定する画像パターンの欠陥検査方法。

FI (2件)：

G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/70 460 F

Fターム (25件)：

5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096DA01 ,  5L096EA14 ,  5L096FA06 ,  5L096FA66 ,  5L096GA10 ,  5L096GA32 ,  5L096JA11 ,  5L096LA05